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真空泵相关的术语解释： 1.流量 单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。 2.流导 表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 U=Q/(P2- P1) 3，苏州电子真空泵工厂.压力或压强 气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。 4.标准大气压 压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm），苏州电子真空泵工厂。 5.极限真空 真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空，苏州电子真空泵工厂。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，较后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。苏州电子真空泵工厂
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。 真空泵的特点： (1)在较宽的压力范围内有较大的抽速； (2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可较大降低驱动功率，从而可实现较高转速； (3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染； (4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感； (5)压缩比较低，对氢气抽气效果差； (6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。苏州电子真空泵工厂通常选择真空泵的极限压力应低于工艺要求约一个数量级。
真空泵的电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。 (1)将原风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却; (2)定期清理电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力; (3)将真空泵所在母线电压调整为400V。
分子真空泵的应用情况： 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。真空泵的主动轴通过联轴器与电机联接。
真空泵的机械选择： 1.了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 2.真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 3.正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量，使用真空泵时必须把它保护好。杭州无油真空泵要多少钱
真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶。苏州电子真空泵工厂
真空泵是指使用机械，物理，化学或物理化学方法从被抽出的容器中抽出空气以获得真空的设备。一般而言，真空泵是一种使用各种方法来增强，产生和维持封闭空间中的真空的装置。由于真空应用部门涉及的工作压力范围很广，因此任何类型的真空泵都不可能完全适合所有工作压力范围。只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求使用不同类型的真空泵。为了促进各种真空过程的使用和需求，有时会根据其性能要求组合多个真空泵，以形成适用于该真空系统的真空单元。苏州电子真空泵工厂
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